• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文会议>International Conference on Sensors, Measurement and Intelligent Materials >MEMS-based gas chromatography column for the analysis of chemical warfare agent(CWA) simulates
【24h】

MEMS-based gas chromatography column for the analysis of chemical warfare agent(CWA) simulates

机译：基于MEMS的气相色谱柱，用于分析化学战层（CWA）模拟

获取原文
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

In this report the gas chromatography column was fabricated base on micro electro mechanical system (MEMS) technology. It tries to find an equilibrium point which can fast detect CWA stimulants with efficient column separation. Under deep reactive-ion etching (DRIE) process, a I'm length, 90 um thickness and 300 um height which form 3:lhigh-aspect-ratio, MEMS-based silicon GC column was fabricated. The GC column was coated with 95%Methyl 5% Phenyl Polysilozane (DB-5) as the stationary phase. Dimethyl methyl phosphonate (DMMP), Triethyl phosphate (TEP) and Methy salicylate were used for CWA simulations. All of these three samples can be separated less than 90s with reasonable column efficiency.
机译：在本报告中，气相色谱柱在微电器机械系统（MEMS）技术上是基础制造的。它试图找到一种均衡点，可以快速检测高效柱分离的CWA兴奋剂。在深反应离子蚀刻（DRIE）过程下，制造300μm厚度和300μm高度，形成3：LHigh-ascep-比，基于MEMS的硅GC塔。将GC柱涂有95％甲基5％苯基聚硅噻唑（DB-5），为固定相。用于CWA模拟的二甲基甲基膦酸酯（DMMP），三乙酯（TEP）和甲基水杨酸酯。所有这三个样品都可以分离小于90秒，具有合理的柱效率。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号