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Design, Fabrikation und Charakterisierung piezoelektrisch angetriebener 2D Mikrospiegel fur Rasterscanner

机译：用于光栅扫描仪的设计，制造和表征压电供电2D微镜

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In dieser Arbeit wird ein neuartiger kardanisch aufgehangter und piezoelektrisch angetriebener 2D-Mikrospiegel vorgestellt. Der Mikrospiegel besitzt zwei senkrechte, voneinander entkoppelte Torsionsmoden mit Eigenfrequenzen von 23,9 kHz bzw. 1,5 kHz. Dabei kann die langsame Achse quasi-statisch angetrieben werden, sodass der Mikrospiegel zusammen mit der resonant betriebenen schnellen Achse einen kompletten Rasterscanner ermoglicht. Ein neuartiger Herstellungsprozess erlaubt einen integrierten Aufbau des Mikrospiegels mit geringen Chip-Abmessungen. Der totale optische Scanwinkel um die x-Achse erreicht 22° bei resonantem Antrieb, wahrend der Scanwinkel um die y-Achse 13,7° bei statischem bzw. 31° bei resonantem Antrieb betragt.

机译：在这项工作中，提出了一种新型的心脏拆卸和压电驱动的2D微镜。微镜具有两个垂直，分离的扭转模式，具有23.9 kHz或1.5 kHz的自然频率。在这种情况下，慢轴可以驱动准静态，使得微镜与谐振操作的快速轴一起模拟允许完整的光栅扫描仪。一种新颖的制造过程允许小芯片尺寸微膜的集成结构。 X轴周围的总光学扫描仪在谐振驱动器处达到22°，在静态或31°处的Y轴13.7°围绕谐振驱动器处的扫描角度。

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来源
《MikroSystemTechnik Kongress》|2015年|1(CD-ROM)|共4页
会议地点
作者
S. Gu-Stoppel; H. J. Quenzer; W. Benecke;
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正文语种
中图分类 TP2-53;
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