电磁式扫描光栅微镜设计

周颖; 黄云彪; 李东玲; 温泉

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扫描光栅微镜是微型光谱仪的新一代核心分光器件.基于固定光栅分光的微型光谱仪由于采用阵列探测器在近红外波段价格昂贵,严重制约了近红外光谱分析技术的推广应用.本文提出了一种电磁式扫描光栅微镜,该器件采用微纳加工工艺,集光栅、驱动结构、角传感器于一体,可实现单管探测器替代阵列探测器.建立了电磁式扫描光栅微镜的理论模型,分析了梁尺寸、镜面尺寸等主要结构参数对器件性能指标的影响,获得器件的设计参数.使用微纳加工方法制作电磁式扫描光栅微镜芯片,并测试了性能指标.实验与理论结果表明:当器件扫描角度为±7°,光谱达800～2500 nm,闪耀波长附近的衍射效率≥70％,角传感器的控制精度≤0.05°,为应用于微型近红外光谱仪提供了一种有效方案.

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来源
《光学精密工程》 |2021年第9期|2048-2057|共10页
作者
周颖; 黄云彪; 李东玲; 温泉;
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作者单位

重庆川仪自动化股份有限公司重庆401121;

重庆川仪自动化股份有限公司重庆401121;

重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400030;

重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400030;

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正文语种 chi
中图分类红外光学器件;光学计量仪器;
关键词
微纳器件; 扫描光栅微镜; 电磁式; 角传感器; 近红外;

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