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A Novel Elevating Structure Design Applied on the Motion Behavior Analysis of Micro Optical Devices by CMOS-MEMS Process

机译：新型高架结构设计在CMOS-MEMS工艺对微光学器件运动行为分析中的应用

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The paper proposed a novel curb structure to elevate the micro optical devices by the driving force of micro array thermal actuator, MATA. The effects of spring structure and curb structure on the maximum displacements and the variation of surface flatness of the elevated micro mirror varied with operation voltage are investigated. The motion behaviors of the elevated micro mirror are stimulated and analyzed to get the maximum displacement and inclined angle of the device. The results demonstrate the wider width, longer pitch and more pitch numbers of spring structure are; the maximum displacement of the elevated micro mirror is larger. Compared the effects of spring structure and curb structure on the maximum displacement of the elevated micro mirror, there are more influence on the variation of maximum displacement due to the varied spring structure than the varied curb structure. On the other hand, the variation of surface flatness of the elevated micro mirror is more significant by the varied pitch number of spring structure and the varied width of curb structure. The maximum displacement and inclined angle of proposed micro optical device are 58.6μm and 17.04℃, respectively.

机译：提出了一种新型的路缘结构，通过微阵列热致动器MATA的驱动力来提升微光学器件。研究了弹簧结构和路缘结构对高位移微镜的最大位移和表面平整度随工作电压变化的影响。激发并分析高架微镜的运动行为，以获取设备的最大位移和倾斜角。结果表明，弹簧结构的宽度更大，节距更长，节距数量更多。高架微镜的最大位移较大。比较了弹簧结构和路缘结构对高架微镜最大位移的影响，与变化的路缘结构相比，弹簧结构的变化对最大位移变化的影响更大。另一方面，通过改变弹簧结构的节距数和改变路缘结构的宽度，高架微镜的表面平坦度的变化更加显着。所提出的微光学器件的最大位移和倾斜角分别为58.6μm和17.04℃。

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来源
《MEMS/MOEMS Components and Their Applications III》|2006年|P.61130N.1-61130N.10|共10页
会议地点 San JoseCA(US)
作者
Chien-Chung Tsai; Zhen-Hao Fan; Pei-Hao Lin;
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作者单位

Department of Optoelectronic System Engineering, Ming Hsin University of Science Technology, 1 Hsin-Hsing Road, Hsin-Fong, Hsin-Chu, Taiwan 304, R.O.C;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
micro array thermal actuator; curb structure; spring structure; micro mirror; micro optical devices;

机译：微阵列热致动器；路缘结构；弹簧结构；微镜；微光学器件;

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