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【24h】

Monolithic fabrication of hollow ARROW based sensors

机译：空心ARROW传感器的整体制造

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We have developed a fabrication method for hollow anti-resonant reflecting waveguides (ARROW) on planar silicon substrates. Our fabrication technique is a bottom-up process making use of a sacrificial core material which is removed in an acid etch, leaving a hollow channel. This method is compatible with standard silicon processing steps, enabling the production of integrated devices. Using different core materials, we have build hollow ARROW waveguides with different core geometries, and have also demonstrated the fabrication of solid-core waveguides to interface with the hollow ARROWs. By optimizing the layer structure and fabrication process, we can reduce the optical loss of these waveguides to below 0.33/cm for liquid-filled waveguides and 2.4/cm for air-core waveguides.
机译：我们已经开发了一种用于平面硅衬底上的中空反谐振反射波导（ARROW）的制造方法。我们的制造技术是一种自下而上的工艺，利用了牺牲性芯材，该材料在酸蚀中被去除，留下了空心通道。该方法与标准的硅处理步骤兼容，从而可以生产集成器件。使用不同的芯材料，我们构建了具有不同芯几何形状的空心ARROW波导，并且还演示了与空心ARROW交界的实芯波导的制造。通过优化层结构和制造工艺，我们可以将这些波导的光学损耗降低到液体填充波导的0.33 / cm以下和空芯波导的2.4 / cm以下。

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