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机译:使用Fabry-Perot干涉滤光片的用于极端紫外光刻的混合型衰减相移掩模的光学设计
机译:使用交替的DUV相移掩模0.18-UM光学光刻性能
机译:无光掩模光刻的热驱动微快门阵列器件
机译:相移脉冲布里渊光学时域反射分析
机译:使用光学光刻和相移掩模制造的红外频率选择表面
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