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首页> 外文会议>Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XIII pt.2 >From GDSII to OASIS : Practical Support Tools for Data Processing Flow Transition
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From GDSII to OASIS : Practical Support Tools for Data Processing Flow Transition

机译：从GDSII到OASIS：用于数据处理流程转换的实用支持工具

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OASIS format has begun to be accepted in the field of mask data processing gradually. Major EDA venders have announced their support of OASIS format and new versions of EDA tools which can handle with OASIS files have been shipped one by one. Still, there are great difficulties to convert all the data processing flow from old GDSII to new OASIS. One of the major issues is a problem of verification. Since all the tools have not been completely stable and reliable, there should be a method to verify whether the data is converted to OASIS without any problems. In addition to that, the integrity of the OASIS files itself have to be checked. In general, OASIS has two aspects for the mask industry. One is a role as a new replacement of GDSII. The other is OASIS. VSB, which is a unified format defined for the description of fractured EB data. Sn NanoTechnology has been developing a new software package called SmartOASIS. SmartOASIS provides lots of practical functions to enable easy transition of data processing flow from conventional GDSII or EB formats to OASIS.
机译：OASIS格式已逐渐被掩码数据处理领域接受。 EDA的主要供应商已经宣布支持OASIS格式，并且可以处理OASIS文件的EDA工具的新版本已逐一交付。但是，将所有数据处理流程从旧的GDSII转换到新的OASIS仍然存在很大的困难。主要问题之一是验证问题。由于所有工具尚未完全稳定可靠，因此应该有一种方法来验证是否将数据转换为OASIS，而不会出现任何问题。除此之外，还必须检查OASIS文件本身的完整性。总的来说，OASIS对于掩模行业有两个方面。一个是作为GDSII的新替代品。另一个是OASIS。 VSB，这是为描述破裂的EB数据而定义的统一格式。 Sn NanoTechnology已开发了一个名为SmartOASIS的新软件包。 SmartOASIS提供了许多实用功能，可以轻松地将数据处理流程从常规GDSII或EB格式转换为OASIS。

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