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Scanning near-field optical microscopy, spectroscopy and nanolithography

机译：扫描近场光学显微镜，光谱学和纳米光刻

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The overview of the last investigations in the areas of scanning near-field optical microscopy (SNOM), surface diagnostics and surface modification with nanometre resolution using SNOM are observed. The operation principles of different types of SNOM are examined. The various method of SNOM probes fabrication with high transmission coefficient, in particularly, on the base of tapered single-mode optical fiber are studied. Besides high resolution imaging SNOM areas of application in scientific research are the local optical diagnostics of sample surface and surface modification for superhigh density data recording and nanoelectronics. The different methods of SNOM diagnostics are observed. It are the local optical spectroscopy of semiconductor nano-objects (quantum wells, wires and dots), near-field photoconductivity of heterostructures, the mapping of semiconductor laser radiation in near-field zone, the creation of point source of terahertz radiation and so on. The various methods of pattern fabrication with minimal size of about 30 - 50 nanometres using SNOM are investigated.
机译：观察到了扫描近场光学显微镜（SNOM），表面诊断和使用SNOM进行纳米分辨率的表面修饰领域的最新研究概述。研究了不同类型的SNOM的操作原理。研究了高传输系数的SNOM探针的各种制造方法，特别是在锥形单模光纤的基础上。除了高分辨率成像SNOM在科学研究中的应用领域外，还包括样品表面的局部光学诊断以及用于超高密度数据记录和纳米电子学的表面修饰。观察到了SNOM诊断的不同方法。它是半导体纳米物体（量子阱，导线和点）的局部光谱，异质结构的近场光电导性，近场区域中半导体激光辐射的映射，太赫兹辐射的点源的创建等。 。研究了使用SNOM制作最小尺寸约为30至50纳米的各种图案的方法。

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