刻蚀机腔室结构特性分析与工艺性能参数优化

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刻蚀是半导体工艺的核心技术。随着晶圆半径的增大及其特征尺寸的不断减小,对刻蚀工艺提出了越来越高的要求。本文以最新开发的18英寸湿法刻蚀腔室为对象,研究了包含干法刻蚀的圆筒式腔室内流场、热场及化学场的耦合关系,分析了不同的结构和工艺参数对刻蚀腔室内流速、压强、温度场的影响规律,主要完成了以下研究内容:
　　研究刻蚀机结构、工作原理及流体力学方程、边界条件方程和分析氢氟酸刻蚀二氧化硅工艺的工艺过程,提出了刻蚀速率和刻蚀不均匀性(刻蚀工艺指标)估算公式,其由耗散系数、物质转换系数、物质量通量、晶格结构共同组成;耦合热场、流场、化学场,研究单因素参数对工艺指标的影响,得到了其对刻蚀特性的分布规律。
　　为获得多因素参数和刻蚀工艺的响应数学函数,定量分析多因素对刻蚀的决定性作用,研究响应面法、中心组合设计、遗传算法提出了基于响应面的自适应遗传算法。分析了入口流量、入口半径、阻尼板渗透系数、喷淋板渗透系数等因素与刻蚀工艺性能的映射关系,得到了最优的刻蚀工艺需要的结构参数和工艺参数并被应用于实际工程中。
　　基于以上研究:在阻尼板中心流速极低提出曲面结构改性;基于阻尼板对刻蚀工艺影响不显著提出闭合阻尼板腔室结构;基于出口流速、温度及轴向速度的急剧变化造成晶圆边沿处刻蚀严重提出双出口的结构设计;基于多孔介质渗透压降大提出曲面喷淋板结构。最后根据刻蚀速率空间分布评价新型结构的合理性,得到一些较优的结构。

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作者
王伟;
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作者单位

重庆大学;

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授予单位重庆大学;
学科机械电子工程
授予学位硕士
导师姓名杨为;
年度 2014
页码
总页数
原文格式 PDF
正文语种中文
中图分类光刻、掩膜;
关键词
刻蚀机; 腔室结构; 工艺性能; 半导体工艺;

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