激光刻蚀聚酰亚胺基底金属薄膜的温度场研究

封面

声明

目录

中文摘要

英文摘要

第1章 绪论

1.1 引言

1.2 金属薄膜/聚酰亚胺组合体系

1.3 脉冲激光技术的发展状况

1.4 脉冲激光刻蚀的研究现状

1.5 激光刻蚀模型的研究状况

1.6数值模拟方法

1.7论文简介

1.8本章小结

第2章 激光与材料的相互作用基础理论

2.1激光的吸收

2.2激光的表面效应

2.3激光对材料的加热

2.4热分析材料重要属性

2.5相变问题

2.6有限元方法和COMSOL Multiphysics软件简介

2.7本章小结

第3章 激光刻蚀模型的建立及温度场分析

3.1引言

3.2激光刻蚀模型的建立

3.3温度场数值分析

3.4本章小结

第4章 激光刻蚀数值分析

4.1引言

4.2单脉冲激光刻蚀模拟分析

4.3多脉冲激光刻蚀模拟分析

4.4激光刻蚀金属薄膜/聚酰亚胺机理探究

4.5激光刻蚀多层金属薄膜的温度场分布

4.6本章小结

第5章 结论与展望

5.1结论

5.2展望

参考文献

致谢

附录A 攻读硕士期间发表学术论文目录