高密度Si纳米线的固-液-固生长及其光学性质

代理获取

页面导航

目录
摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

以Al/Au合金薄膜作为催化剂，基于固—液—固（SLS）生长机制，在单晶Si(100)衬底上制备出直径为100nm、长度可达到微米级、密度为1010/cm2，并且分布均匀的大面积Si纳米线（SiNWs）。实验研究了不同种类的催化剂、催化剂厚度、衬底形貌和生长时间等工艺条件对Si纳米线以及Si纳米线的光致发光（PL）特性和反射率的影响。利用X射线能量损失谱(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜（SEM）、F4600荧光光谱仪和D8反射率测试仪等对Si纳米线的形貌、组分、生长晶向、PL特性和反射率进行了测试和表征。结果表明，在生长温度为1100℃，N2气流量为1.5 L/min，生长时间为60min的条件下，采用Al/Au合金作为金属催化剂，所制备的Si纳米线的密度比 Au作为催化剂制备的 Si纳米线的密度大二个数量级，达到了1010cm2。发现在355-390nm波长范围存在一个较强的紫外发射峰，以及458-475nm处存在一个较弱的蓝光发射峰，其峰值分别位于369nm和467nm处，发光中心来源于SiOx中与氧相关的缺陷。在350-1000nm的光照波长范围内，Si纳米线反射率比抛光Si片低35％。

著录项

作者
周子淳;
展开▼
作者单位

河北大学;

展开▼
授予单位河北大学;
学科微电子学与固体电子学
授予学位硕士
导师姓名彭英才;
年度 2015
页码
总页数
原文格式 PDF
正文语种中文
中图分类特种结构材料;
关键词
Si纳米线; 金属催化剂; 生长机制; 结构表征; 光学性质; 合金薄膜;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Si纳米线的Au催化固-液-固生长与结构表征 [J] . 范志东 ,白振华 ,马蕾 . 河北大学学报（自然科学版） . 2009,第004期
2. 硅纳米线的固-液-固热生长及升温特性研究 [J] . 邢英杰 ,奚中和 ,俞大鹏 . 电子与信息学报 . 2003,第002期
3. Si纳米线的气-液-固生长与结构表征 [J] . 白振华 ,范志东 ,程旭 . 河北大学学报（自然科学版） . 2009,第006期
4. 纳米碳管中离散分布的金属Ni纳米线气-液/固-固填充模型 [J] . 吴萍 ,陈蓓 ,邹兴权 . 功能材料 . 2007,第011期
5. 基于蒙特卡罗方法的纳米线气-液-固生长机制研究 [J] . 曹霞 ,赵凯 ,朱彦华 . 湘潭大学学报：自然科学版 . 2021,第002期
6. Si纳米线的固-液-固可控生长 [C] . 彭英才 ,范志东 ,白振华 . 第十七届全国半导体物理学术会议 . 2009
7. Au催化固-液-固生长Si纳米线的蓝光发射特性 [A] . 程旭 . 2011

高密度Si纳米线的固-液-固生长及其光学性质

目录

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅