脉冲激发情况下微波H等离子体的Langmuir探针诊断

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引言

1文献综述

1.1金刚石膜CVD过程的机理

1.1.1金刚石的形核

1.1.2金刚石的生长

1.1.3金刚石膜的CVD理论模型

1.2低压气相沉积金刚石膜技术的发展现状

1.2.1金刚石膜沉积方法

1.2.2线形微波等离子体装置的发展

1.3等离子体及其诊断

1.3.1等离子体简述

1.3.2等离子体诊断

1.3.3Langmuir单探针诊断技术

1.3.4脉冲等离子体的诊断

2金刚石膜沉积设备和Langmuir探针系统

2.1金刚石膜的沉积设备

2.1.1线形微波等离子体CVD设备

2.1.2石英钟罩微波等离子体CVD设备

2.2Langmuir探针系统

2.2.1数模转换（D/A）卡（ISA插槽）

2.2.2数据采集（A/D）卡（ISA插槽）

2.2.3数控电源

2.2.4Langmuir探针

2.2.5软件系统

3Langmuir探针诊断方法

3.1诊断系统软件的建立

3.1.1Langmuir探针电路

3.1.2Langmuir探针测量软件的流程

3.1.3软件的实现

3.2探针测试过程中探针电压的扫描方式

3.2.1探针电压随时间变化的扫描方式

3.2.2探针电压恒定式的慢扫描方式

3.3数据分析

3.3.1探针电压随时间变化的扫描方式的数据分析

3.3.2恒探针电压的慢扫描方式的数据分析

4Langmuir探针对微波H2等离子体的诊断

4.1线形微波等离子体CVD设备的等离子体状态

4.1.1磁控管的功率输出和微波等离子体的点燃

4.1.2一侧磁控管单独工作时的等离子体状态

4.1.3两侧磁控管同时工作时的等离子体状态

4.2石英钟罩微波等离子体CVD设备的等离子体状态

4.3Langmuir探针测试系统存在的问题及改进的建议

结论

参考文献

附录A Langmuir探针测试程序清单

在学研究成果

致谢