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用于等离子体诊断的Langmuir多探针控制电路

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本发明公开了一种用于等离子体诊断的Langmuir多探针控制电路，属于等离子体诊断技术领域。控制电路整体位于等离子体装置之外，包括三个Langmuir单探针、交流锯齿波供电电压发生装置、直流供电电压发生装置、双刀双掷开关、反向开关、第一双刀三掷开关、第二双刀三掷开关、第一单刀单掷开关、第二单刀单掷开关和转换电阻，通过切换控制电路中的开关来进行Langmuir单探针、双探针和三探针不同诊断电路之间的选择，并提供清洗电路实现对探针的清洗操作。本发明利用了三种探针诊断方法在实验设备上的相同点，可以节约实验成本。结合三种诊断方法的不同点，通过转换控制电路切换不同方法，方便快捷，大大缩短实验周期；可以在实验过程中对探针进行清洗，使实验结果更加准确。

著录项

公开/公告号CN103140009B

专利类型发明专利
公开/公告日2015-11-11

原文格式PDF
申请/专利权人北京航空航天大学;
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申请/专利号CN201310038992.2
发明设计人汤海滨;张尊;杨渊;
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申请日2013-01-31
分类号H05H1/00(20060101);
代理机构11121 北京永创新实专利事务所;
代理人姜荣丽
地址 100191 北京市海淀区学院路37号
入库时间 2022-08-23 09:30:58

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-11-11

授权

授权
2013-11-06

实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/00 申请日:20130131

实质审查的生效
2013-06-05

公开

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