Langmuir探针在等离子体诊断中的抗干扰方法

李亚磊; 邓新绿; 徐军

首页> 中文期刊> 《真空科学与技术学报》 >Langmuir探针在等离子体诊断中的抗干扰方法

Langmuir探针在等离子体诊断中的抗干扰方法

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文介绍了三种Langmuir探针在等离子体诊断中抗干扰的方法:积分平均技术———采用积分电路,有效抑制波动干扰,提高探针信噪比;滤波器———利用同轴电缆构成级连滤波器网络,消除射频源基频及谐频干扰;差分放大器———两根同轴电缆与差分放大器配合使用,消除由于同轴电缆电阻电容(RC)特性引起的诱导噪音。上述方法分别从抗干扰原理、抗干扰装置和实验结果三方面予以了说明,指出了目前使用Langmuir探针进行等离子体诊断时存在的问题,并提出了解决方案。

著录项

来源
《真空科学与技术学报》 |2005年第6期|459-462|共4页
作者
李亚磊; 邓新绿; 徐军;
展开▼
作者单位

大连理工大学三束材料改性国家重点实验室;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O785.5;
关键词
Langmuir探针; 抗干扰; 信噪比; Ⅰ-; Ⅴ特性曲线;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 利用Langmuir探针诊断激波管高温高密度等离子体 [J] . 葛萌 ,孙刚 ,张莉莉 . 宇航计测技术 . 2017,第006期
2. Langmuir探针法结合发射光谱法诊断螺旋波低压氢等离子体 [J] . 高映雪 ,吴卫东 ,戴阳 . 核聚变与等离子体物理 . 2011,第004期
3. Langmuir探针诊断低压氢等离子体电子密度与温度 [J] . 戴阳 ,吴卫东 ,高映雪 . 强激光与粒子束 . 2010,第006期
4. Langmuir单探针诊断电子回旋共振等离子体参数分布特性 [J] . 符斯列 ,陈俊芳 ,王春安 . 大学物理实验 . 2009,第003期
5. 基于数据采集系统的等离子体Langmuir探针诊断实验 [J] . 李阿红 ,鄢扬 ,王彬 . 强激光与粒子束 . 2008,第008期
6. 溅射系统中(ArH)-Si系等离子体的Langmuir探针诊断 [C] . 郭维华 ,蒋百灵 ,李洪涛 . 第十二届全国固体薄膜会议 . 2010
7. 脉冲激发情况下微波H等离子体的Langmuir探针诊断 [A] . 刘伟 . 2007

Langmuir探针在等离子体诊断中的抗干扰方法

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅