脂肪环“燕尾型”共聚物LB膜的制备及光刻性质

声明

摘要

第一章 前言

1．1 引言

1．2 光刻工艺过程

1．3 光刻胶的成膜方式

1．3．1 旋转涂膜

1．3．2 自组装膜(Self-assembled Membranes，SAMs)

1．3．3 Langmuir-Blodgett(LB)膜

1．4 光刻过程所应用的光源

1．5 光致抗蚀剂

1．6 小结及课题的提出

第二章 实验部分

2．1 仪器与试剂

2．2 248nm光致抗蚀剂的合成

2．2．1 合成路线

2．2．2 甲基丙烯酰氯的合成

2．2．3 合成长链烷基丙烯酰胺

2．2．4 烯丙基丙二酸二乙酯的合成

2．2．5 烯丙基丙二酸的合成

2．2．6 烯丙基丙二酰氯的合成

2．2．7 烯丙基丙二酸二-1-金刚烷甲酯(DAdMAMA)的合成

2．2．8 烯丙基丙二酸二环己基甲酯(DCyMAMA)的合成

2．2．9 甲基丙烯酸-1-金刚烷甲酯(AdMMA)的合成

2．2．1 0 甲基丙烯酸环己基甲酯(CyMMA)的合成

2．2．11 甲基丙烯酸薄荷基酯(MeMMA)的合成

2．2．11 光敏组分与成膜组分自由基共聚

2．3 基片的处理

2．4 π-A曲线和LB膜的制备

第三章 结果和讨论

3．1 共聚物p(HDMA-DAdMAMA)s[h2a]的性质研究

3．1．1 共聚物p(HDMA-DAdMAMA)s的表征

3．1．2 共聚物p(HDMA-DAdMAMA)s成膜性能

3．1．3 成膜条件的选择与优化

3．1．4 Langmuir膜的转移性能研究

3．1．5 LB膜表面形态研究

3．1．6 共聚物p(HDMA-DAdMAMA)s LB膜的光刻实验

3．1．8 h2a20 LB膜的抗刻蚀性能研究

3．1．9 h2a20 LB膜光刻机理研究

3．1．10 h2a20的光分解机理推测

3．2 共聚物p(DDMA-DAdMAMA)s[d2a]性质研究

3．2．1 共聚物p(DDMA-DAdMAMA)s的表征

3．2．2 共聚物d2a在空气／水界面上的行为研究

3．3 共聚物p(HDMA-AdMMA)s[h1a]的性质

3．3 h1a系列共聚物的表征

3．3．2 共聚物在空气／水界面上的行为研究

3．3．3 h1a成膜条件的优化与选择

3．3．4 h1a40成膜性能研究

3．3．5 LB膜表面形态研究

3．3．6 LB膜光刻性能研究

3．3．7 LB膜光分解性质分析

3．3．8 h1a40的TG-DSC图

3．3．9 光分解机理推测

3．4 共聚物DDMA-AdMMA[d1a]的性质研究

3．4．1 共聚物p(DDMA-AdMMA)s的表征

3．4．2 共聚物在气／液界面上的行为研究

3．4．3 d1a30成膜条件的优化与选择

3．5 p(HDMA-DCyMAMA)s[h2d]共聚物的性质

3．5．1 共聚物p(HDMA-DCyMAMA)s的表征

3．5．2 共聚物p(HDMA-DCyMAMA)s成LB膜性能

3．5．3 共聚物h2d30的成膜条件的选择与优化

3．5．4 LB膜表面形态研究

3．5．5 LB膜光刻性能的研究

3．5．6 光致抗蚀剂抗蚀性能研究

3．5．7 光致抗蚀剂光分解机理研究

3．5．8 h2d30光分解机理的推测

3．6 共聚物p(DDMA-CyMMA)s[d1d]的性质

3．6．1 共聚物P(DDMA-CyMMA)s的表征

3．6．2 d1d系列共聚物在气液界面上的行为研究

3．6．3 共聚物d1d成膜条件的选择与优化

3．7 共聚物p(HDMA-MeMMA)s[h1e]的性质

3．7．1 h1e系列共聚物的表征

3．7．3 h1e系列共聚物的成膜性质

3．7．4 h1e系列四种共聚物的Es-π曲线

第四章 结论

参考文献

附图

硕士期间发表文章(2010-2013)

致谢