纳结构的激光复合微纳探针刻划技术研究

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目录

第1章 绪 论

1.1 课题来源及研究的目的和意义

1.1.1 课题来源

1.1.2 课题研究的目的和意义

1.2 基于微纳探针的纳结构刻划技术发展概述

1.2.1 纳结构的微纳探针刻划技术

1.2.2 纳结构的激光复合微纳探针刻划技术

1.2.3 国内外研究现状综述

1.3 课题主要研究内容

第2章 激光复合微纳探针的近场效应研究

2.1 表面等离子体激元理论

2.1.1 表面等离子体激元的近场增强理论

2.1.2 激光复合微纳探针近场增强机制

2.2 激光辐照微纳探针近场效应仿真分析

2.2.1 光纤探针通光辐照微纳探针近场增强研究

2.2.2 聚焦激光辐照微纳探针近场增强研究

2.3 激光辐照微纳探针热场仿真分析

2.3.1 热场理论分析

2.3.2 微纳探针上的热场仿真

2.4 微纳探针热膨胀仿真分析

2.5 本章小结

第3章 激光辐照微纳探针的温度场测试研究

3.1 基于AFM力-距离曲线及纳米压痕的温度测试方法

3.2 温度测试试验系统

3.3 微纳探针针尖温度测试试验

3.3.1 高分子聚合物—聚乙烯

3.3.2 金属片状材料—锌片

3.3.3 薄膜材料—硅基底银膜

3.3.4 基于针尖温度测试的材料表面状态分析总结

3.4 本章小结

第4章 激光复合微纳探针刻划试验研究

4.1 激光复合微纳探针刻划试验系统及试验方法

4.1.1 纳结构刻划AFM平台

4.1.2 纳结构刻划试验结果评判标准

4.2 纳米点蚀刻试验研究

4.2.1 间距对试验结果的相关性探讨

4.2.2 通光时间对纳米点形貌尺度的影响

4.2.3 激光能量对纳米点形貌尺度的影响

4.2.4 纳米点所用微纳探针磨损情况分析

4.3 纳米线刻划试验研究

4.3.1 作用力对纳米线试验结果的影响探究

4.3.2 通光时间对纳米线形貌尺度的影响研究

4.3.3 激光能量对纳米线形貌尺度的影响

4.3.4 纳米线所用微纳探针磨损情况分析

4.4 本章小结

结论

参考文献

声明

致谢