基于广义椭偏仪的纳米结构测量理论与方法研究

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目录

1 绪论

1.1 课题概述

1.2 纳米结构测量技术研究现状及发展趋势

1.3 本文主要研究工作

2 纳米结构光学特性建模理论

2.1 引言

2.2 典型纳米结构的严格耦合波建模理论

2.3 考虑退偏效应的纳米结构光学特性建模

2.4 典型纳米结构光学特性建模仿真分析

2.5 本章小结

3 纳米结构参数快速鲁棒提取方法

3.1 引言

3.2 基于广义椭偏仪的纳米结构测量中的逆问题

3.3 基于拟合误差插值的库匹配方法

3.4 基于修正的库匹配方法

3.5 纳米结构参数提取仿真实验

3.6 本章小结

4 纳米结构测量误差分析与测量条件配置优化

4.1 引言

4.2 误差来源及分类

4.3 误差传递与评估

4.4 测量条件配置优化

4.5 误差传递与评估仿真实验

4.6 本章小结

5 基于广义椭偏仪的纳米结构测量实验研究

5.1 引言

5.2 基于广义椭偏仪的纳米结构测量实验平台

5.3 纳米结构参数快速鲁棒提取实验研究

5.4 广义椭偏仪测量条件配置优化实验研究

5.5 考虑退偏效应的纳米结构参数提取实验研究

5.6 本章小结

6 总结与展望

6.1 全文总结

6.2 研究展望

参考文献

致谢

附录1 攻读学位期间发表的学术论文

附录2 攻读学位期间申请的国家发明专利