低气压射频氩气辉光放电等离子体物理特性的数值研究

声明

摘要

1 绪论

1．1 研究背景与研究意义

1．2 等离子体概述

1．2．1 等离子体的定义及其相关重要概念

1．2．2 等离子体的分类

1．2．3 低温等离子体的生成

1．3 等离子体辉光放电的研究

1．3．1 辉光放电原理分析与产生条件

1．3．2 汤生放电理论简介

1．3．3 低气压辉光放电过程中放电模式的阐述

1．4 低温等离子体技术研究面临的问题

1．5 主要研究工作与内容安排

2 等离子体放电的数值研究方法与流体模型建立

2．1 低温等离子体的数值研究方法

2．2 低气压氩气辉光放电等离子体的流体模型建立

2．2．1 建立流体模型的条件

2．2．2 等离子体流体模型方程

2．3 流体模型的计算方法

2．3．1 分量方程

2．3．2 初始条件和边界条件

2．3．3 无量纲化

2．3．4 差分格式

2．3．5 计算步骤

2．3．6 计算参数

2．4 本章小结

3 低气压射频氩气辉光放电等离子体演化特性的数值研究

3．1 引言

3．2 数值结果与讨论分析

3．2．1 电场和电势的演化

3．2．2 电子密度和离子密度的演化

3．2．3 电子温度和电离率的演化

3．2．4 电子净能量吸收、功率沉积以及能量转移和耗散的演化

3．3 本章小结

4 二次电子发射对低气压射频氩气辉光放电特性的影响

4．1 引言

4．2 数值结果与讨论分析

4．2．1 γ对等离子体电场、电势和电子温度的影响

4．2．2 γ对电子能量吸收、转移和耗散的影响

4．2．3 γ对放电电离的影响

4．2．4 γ对电子密度的影响

4．3 本章小结

结论

参考文献

攻读硕士学位期间发表学术论文情况

致谢