声明
摘要
缩略词
第1章绪论
1.1概述
1.2磁性隧道结
1.2.1隧穿磁电阻效应
1.2.2自旋转移矩效应
1.3自旋纳米振荡器
1.3.1自旋纳米振荡器工作原理与构型
1.3.2自旋纳米振荡器中的磁化动力学
1.4磁性隧道结中的多态存储
1.5本论文主要研究内容与章节安排
参考文献
第2章样品生长、制备及测量分析手段
2.1样品生长手段
2.1.1磁控溅射沉积
2.1.2等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)
2.2样品制备手段
2.2.1光学曝光
2.2.2电子束曝光(EBL)
2.2.3刻蚀
2.3样品测量分析手段
2.3.1自搭建探针台测试系统
2.3.2超导量子干涉仪(SQUID)
2.3.3低温强磁场物性测量系统
2.3.4交变梯度磁强计(AGM)
2.3.5台阶仪
2.3.6 X射线衍射(XRD)
2.3.7 CIPT测量设备
参考文献
第3章CoFeB/MgO/CoFeB磁性隧道结与自旋纳米振荡器
3.1引言
3.2 CoFeB/MgO/CoFeB磁性隧道结的设计与生长
3.3磁性隧道结的微纳加工
3.3.1三步曝光法流程
3.3.2四步曝光法流程
3.4隧道结测量结果与讨论
3.4.1结构表征
3.4.2磁电阻测量
3.4.3几何增强磁电阻
3.5自旋纳米振荡器微波发射测量
3.5.1测量原理
3.5.2类型1样品测量结果
3.5.3类型2样品测量结果
3.6本章小结
参考文献
4.1引言
4.2理论模型
4.2.1合成反铁磁自旋电子学
4.2.2 Bloch-Bloembergen-Slonczewski(BBS)方程
4.2.3模拟过程与参数设定
4.3结果与讨论
4.3.1时域分析
4.3.2空域分析
4.3.3电流密度依赖关系
4.3.4厚度依赖关系
4.3.5补充研究
4.4本章小结
参考文献
5.1引言
5.2(Co/Pt)n多层膜中的十态存储
5.2.1样品制备
5.2.2测量表征
5.2.3结果与讨论
5.3 CoFeB/MgO/CoFeB隧道结中的十态存储
5.3.1样品制备
5.3.2测量与表征
5.3.3结果与讨论
5.4磁性隧道结中反铁磁磁畴调控磁电阻
5.4.1样品制备
5.4.2磁电阻测量
5.4.3结果与讨论
5.5本章小结
参考文献
6.1总结
6.2本论文的特色与创新
6.3工作展望
致谢
攻读博士期间发表及将要发表的学术论文与专利
博士期间参加的学术会议