基于DMD的无掩膜曝光系统关键技术研究

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第一章 绪论

1.1 课题研究的背景意义

1.2 自动对焦技术的国内外研究现状

1.3 现有的自动调焦方法存在的问题

1.4 本论文的研究内容与结构安排

第二章 自动调焦理论基础研究

2.1 成像模型理论研究

2.2 调焦方法研究

2.3 图像预处理

2.4 小结

第三章 清晰度评价函数的研究

3.1 清晰度评价算法评价指标

3.2 典型的清晰度评价算法

3.3 典型清晰度评价函数性能指标对比

3.4 基于人类视觉的小波包变换清晰度评价算法

3.5 小结

第四章 调焦窗口的构建与调焦搜索算法的研究

4.1 调焦窗口的选择

4.2 单尺度与多尺度结合的自适应取窗方法

4.3 调焦搜索算法的研究

4.4 小结

第五章 曝光机视频流方案的设计

5.1 DLP6500设备

5.2 视频流方案

5.3 效果以及实验展示

5.4 小结

第六章 总结与展望

6.1 工作总结

6.2 未来展望

参考文献

致谢

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