声明
1 绪论
1.1 研究背景及意义
1.2 精密工作台研究现状
1.3 摩擦模型及摩擦补偿研究现状
1.3.1 摩擦模型研究现状
1.3.2 摩擦补偿研究现状
1.4 本文研究内容
2 工作台系统摩擦特性研究
2.1 直线滚动导轨摩擦行为的表征
2.2 换向运动阶段动态特性分析
2.3 换向运动阶段误差分析
2.3.1 换向误差理论分析
2.3.2 实验验证
2.4 本章小结
3 新型柔性工作台原理介绍及其结构设计
3.1 新型柔性工作台原理介绍
3.2 柔性结构设计
3.2.1 柔性结构理论刚度计算
3.2.2 柔性结构有限元分析
3.3 新型柔性工作台结构设计
3.4 本章小结
4 工作台伺服控制算法研究
4.1 传统的PID控制算法
4.1.1 PID控制的基本原理
4.1.2 PID参数整定
4.2 基于摩擦模型的前馈补偿控制算法
4.3 Dahl摩擦模型参数辨识
4.4 本章小结
5 新型柔性工作台跟踪性能实验
5.1 基于dSPACE的控制方案研究
5.1.1 dSPACE半实物实时仿真系统
5.1.2 基于dSPACE的控制算法开发流程
5.2 实验方法
5.3 实验结果
5.4 本章小结
6 结论与展望
6.1 结论
6.2 发展与展望
致谢
参考文献
攻读硕士期间研究成果