晶圆预对准装置设计与对准算法的研究

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目录

第一章 绪论

1.1 引言

1.2 晶圆预对准装置概述

1.3 预对准装置国内外发展现状及分析

1.4 课题来源与主要研究内容

第二章 预对准装置机械本体设计与分析

2.1 引言

2.2 预对准方案设计

2.3 机构总体结构

2.4 视觉检测单元设计

2.5 θ-Y二自由度运动单元设计

2.6 垂直过渡单元

2.7 小结

第三章 预对准装置控制系统设计

3.1 引言

3.2 控制系统硬件组成

3.3 小结

第四章 晶圆形心与缺口对准算法

4.1 引言

4.2 晶圆形心定位算法

4.3 低采样点数晶圆定位拟合算法比较与分析

4.4 晶圆缺口定位算法

4.5 形心与缺口最终调整量算法

4.6 小结

第五章 实验测试与分析

5.1 引言

5.2 预对准控制及检测界面

5.3 预对准检测实验

5.4 测试结果

5.5 结果分析

5.6 小结

结论

参 考 文 献

致谢

攻读硕士学位期间已发表或录用的论文