基于测热式原理的集成微流体流量传感器的设计、制作及信号处理

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上海交通大学学位论文答辩决议书

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目录

第一章 绪论

1.1课题的提出

1.2 MEMS技术和微全分析系统简介

1.2.1 MEMS技术简介

1.2.2微全分析系统简介

1.3微流量传感器简介

1.3.1分类

1.3.2国内外研究现状

1.4本文主要工作

第二章基于COMSOL的热温差式微流量传感器模拟分析

2.1热温差式微流量传感器原理

2.2 COMSOL热温差式微流量传感器模拟分析

2.2.1 COMSOL多物理场模拟仿真软件简介

2.2.2热温差微流量传感器原理仿真

2.2.3 COMSOL热温差式微流量传感器模拟仿真小结

第三章传感器设计、电极制作及微流道集成封装

3.1传感器设计

3.2传感器电极制作

3.2.1传感器电极制作工艺

3.2.2双层胶Lift off工艺制作玻璃基底热温差式微流量传感器电极

3.2.3直接法Lift off工艺制作聚酰亚胺基底热温差式微流量传感器电极

3.2.4硅基底热温差式微流量传感器电极的制作

3.3传感器的管道集成封装

3.3.1玻璃基底热温差式微流量传感器电极的管道集成封装

3.3.2硅基热温差式微流量传感器电极的管道集成封装

第四章硅基热温差式微流量传感器外围电路的设计及测试结果和讨论

4.1金电阻温度系数测试

4.2桥路转换电路设计及芯片测试

4.2.1桥路转换电路基本理论

4.2.2桥路转换理论计算

4.2.3微流量传感器的实际测试及讨论

4.3外围放大电路的设计

4.3.1前级放大电路设计

4.3.2低通滤波电路的设计

4.3.3后级放大电路的设计

4.3.4关于A/D转换及控制器的考虑

4.3.5电源转换电路的设计

4.3.6前级放大电路的测试及讨论

第五章总结与展望

参考文献

致谢

攻读硕士学位期间已发表的论文