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基于硅杯结构的热分布式微流体流量传感器

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本发明属于分析化学中的微全分析系统研究技术领域，用以在生化反应和分离过程中监测微反应体系在运行过程中液体样品的流动分布和变化状况。其特征是利用热分布式微流体流量传感器的工作原理，采用MEMS技术，将金属薄膜式微型加热器和温度传感器制作在硅杯上，并使之与石英微管道组合构成热分布式微流体流量传感器；以硅杯作为微型加热器和温度传感器的载体。本发明的效果和益处是有效防止了加热器和温度传感器与硅衬底之间的热交换，提高了微流体流量传感器的测量灵敏度；设计了弯曲蛇形多抽头温度传感器，以获得在某一确定流速情况下，上下游温度传感器间的最大温差。

著录项

公开/公告号CN1900717A

专利类型发明专利
公开/公告日2007-01-24

原文格式PDF
申请/专利权人大连理工大学;
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申请/专利号CN200610200185.6
发明设计人闫卫平;邝永变;马灵芝;杜立群;
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申请日2006-03-01
分类号G01N33/50(20060101);G01F1/68(20060101);
代理机构21200 大连理工大学专利中心;
代理人侯明远
地址 116024 辽宁大连甘井子区凌工路2号
入库时间 2023-12-17 18:08:16

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2010-07-21

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N33/50 公开日:20070124 申请日:20060301

发明专利申请公布后的视为撤回
2007-03-21

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-01-24

公开

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专利
中文文献
外文文献

1. 基于硅杯结构的热分布式微流体流量传感器 [P] . 中国专利： CN1900717A . 2007-01-24
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4. 'LOW POWER SILICON THERMAL SENSORS AND MICROFLUIDIC DEVICES BASED ON THE USE OF POROUS SILICON SEALED AIR CAVITY TECHNOLOGY OR MICROCHANNEL TECHNOLOGY' [P] . 世界知识产权组织专利： WO03062134A1 . 2003-07-31

机译： “基于使用多孔硅密封气穴技术或微通道技术的低功率硅热传感器和微流体装置”
5. Low power silicon thermal sensors and microfluidic devices based on the use of porous sealed air cavity technology or microchannel technology [P] . 美国专利： US7233000B2 . 2007-06-19

机译：基于多孔密封气腔技术或微通道技术的低功率硅热传感器和微流体设备