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摘要
图清单
表清单
第一章 绪论
1.1 课题的研究背景和意义
1.2 静电驱动微谐振器的研究现状
1.2.1 吸合效应
1.2.2 非线性振动特性
1.2.3 混沌动力学及其控制
1.2.4 振动优化控制
1.3 分数阶控制算法的研究现状
1.4 本文关注的科学问题
1.5 本文的主要研究工作
第二章 双极板静电驱动微梁谐振器的静态分岔分析
2.1 引言
2.2 谐振器的简化动力学模型
2.3 静态分岔分析
2.4 保守系统的静动态吸合行为分析
2.4.1 α≤2的情况
2.4.2 α>2的情况
2.5 本章小结
第三章 双极板静电驱动微梁谐振器的小幅振动特性分析
3.1 引言
3.2 主共振分析
3.2.1 多尺度法求解
3.2.2 理论分析及验证
3.3 数值分析
3.4 线性特性分析
3.5 本章小结
第四章 时滞速度反馈作用下微梁谐振器的非线性振动及控制问题研究
4.1 引言
4.2 基本动力学方程及理论解推导
4.2.1 时滞稳定性分析
4.2.2 多尺度方法求解
4.3 稳定性分析
4.4 数值分析
4.4.1 非线性跳跃现象
4.4.2 时滞速度反馈的调频调阻特性
4.5 调频调阻解耦问题探讨
4.6 本章小结
第五章 双极板静电驱动微梁谐振器的大幅振动设计初探
5.1 引言
5.2 计算Melnikov函数的数值积分方法
5.3 大幅振动的参数设计
5.3.1 微梁的固有角频率
5.3.2 间距-厚度比
5.3.3 直流电压
5.4 大幅振动的动力学设计
5.5 本章小结
第六章 分数阶滑模控制器设计及其在动态MEMS混沌控制中的应用
6.1 引言
6.2 分数阶微积分及滑模控制理论
6.2.1 Riemann-Liouville分数阶微积分
6.2.2 分数阶微积分近似算法
6.2.3 滑模控制理论
6.3 分数阶滑模控制器设计
6.3.1 模糊分数阶快速终端滑模控制算法
6.3.2 分数阶非奇异快速终端滑模控制算法
6.4 分数阶滑模控制算法的数值验证
6.4.1 模糊分数阶快速终端滑模控制算法的数值验证
6.4.2 分数阶非奇异快速终端滑模控制算法的数值验证
6.5 本章小结
第七章 总结与展望
7.1 全文总结
7.2 工作展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
附录
致谢