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摘要
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表清单
字母注释表
第一章 绪论
1．1 微机电系统概述
1．2 微机电系统发展概况
1．3 微梳状结构介绍及发展状况
1．3．1 传感器
1．3．2 执行器
1．4 微梳状结构动力学研究背景
1．5 时滞控制在微机电系统中的应用
1．6 本文的主要研究内容
第二章 微梳状驱动器静电驱动原理
2．1 微机械静电驱动基础
2．2 微梳状驱动器静电力分析计算
2．2．1 横向电容产生的静电力计算
2．2．2 纵向电容产生的静电力计算
2．2．3 微梳状结构整体静电力分析
2．3 静电力对结构刚度的影响
第三章 微梳状驱动器动力学模型
3．1 梳状驱动器结构振动参数分析
3．2 微梳状驱动器结构动力学求解
3．3 微梳状驱动器非线性振动特性研究
3．3．1 直流偏置电压对微梳状结构刚度的影响
3．3．2 驱动电压对系统幅频响应的影响
3．3．3 结构参数对系统幅频响应的影响
第四章 时滞控制下的微梳状驱动器动力学研究
4．1 时滞影响下的微梳状驱动器模型的表达
4．2 多尺度法求解
4．3 理论分析和数值仿真
4．3．1 时滞因素对系统平衡稳定性的影响
4．3．2 时滞因素对不同梳齿个数的幅频响应的影响
4．3．3 时滞因素对不同直流电压Vdc的幅频响应的影响
4．4 第二种位移时滞控制微梳状驱动器非线性振动
4．5 本章总结
第五章 全文总结和展望
5．1 全文总结
5．2 微梳状驱动器研究的不足及展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致谢
