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致谢
摘要
1绪论
1．1研究背景与意义
1．1．1集成电路与光刻技术
1．1．2微环境恒温气浴概述
1．1．3研究意义
1．2国内外研究现状
1．2．1国内研究现状
1．2．2国外研究现状
1．3课题来源和研究内容
1．4本章小结
2浸没单元微环境恒温气浴方案设计
2．1需求分析
2．1．1功能需求分析
2．1．2性能需求指标
2．1．3换气流量的确定
2．2方案设计
2．3关键元器件选型
2．3．1液体温控器
2．3．2气液热交换器
2．3．3气体流量控制器
2．3．4液体流量控制器
2．3．5温度传感器
2．3．6气体质量流量计
2．3．7其他元器件的选型
2．4微环境恒温气浴系统的电气设计
2．4．1 PLC的程序设计
2．4．2元件电源与功率
2．4．3电路设计
2．5微环境恒温气浴系统的机械结构设计
2．5．1整体机柜的设计
2．5．2执行元件的连接结构设计
2．5．3上层电气结构设计
2．6温控系统软件设计
2．6．1温控软件框架
2．6．2温控软件的通讯设计
2．6．3温控软件流程
2．6．4人机交互界面设计
2．6．5数据库实现
2．7本章小结
3微环境气浴箱结构设计与优化
3．1送风系统的选择
3．2孔板送风的设计
3．2．1气流流型
3．2．2送风速度
3．2．3稳压层高度
3．2．4孔板开口面积及孔口尺寸
3．3微环境气浴箱体材料的选择
3．4微环境气浴箱体的结构设计方案分析
3．5微环境气浴箱体温度均匀性仿真
3．5．1 CFD技术与CFX
3．5．2微环境气浴箱体气体的CFD模型
3．5．3基于solidworks的三维模型的构建
3．5．4计算网格分析
3．5．5初始条件和边界条件
3．5．6 CFD仿真结果后处理
3．5．7气体回路中热量损失的仿真分析
3．6本章小结
4微环境温度控制系统的控制结构设计及仿真测试
4．1温控系统的数学建模
4．1．1换热器的模型
4．1．2帕尔贴温控器的数学模型
4．1．3微环境温度控制箱数学模型
4．2微环境温度控制系统的控制结构设计
4．2．1单闭环控制结构
4．2．2串级控制结构
4．2．3主副PID控制器参数整定
4．3控制效果测试
4．4本章小结
5总结与展望
5．1论文总结
5．2论文展望
参考文献
