扫描干涉光刻中干涉条纹漂移误差分析及抑制

声明

第一章 绪 论

1.1 研究工作的意义与背景

1.2 光栅制造误差抑制研究现状

1.3 课题研究目的内容及论文结构安排

第二章 扫描干涉光刻原理与误差综述

2.1 引言

2.2 扫描干涉光刻基本原理

2.3 基于零差图像锁定系统的扫描干涉光刻原理方案

2.4 扫描干涉光刻条纹漂移误差综述

2.5 空气折射率波动引起的条纹漂移误差

2.6 本章小节

第三章 刚体运动引起的测量误差分析

3.1 引言

3.2 相位测量框架的刚体运动

3.3 位移测量干涉仪模块的刚体运动

3.4 工件台刚体运动

3.6 本章小结

第四章 光学元件高频振动引起的条纹漂移误差分析

4.1 引言

4.2 零差图像锁定系统验证实验装置介绍

4.3 振动直接引入条纹漂移误差的方式概述

4.4 关键元件的振动对条纹漂移误差的影响分析

4.5 实验结构弱点分析

4.6 本章小节

第五章 图像锁定方案优化及关键实验验证

5.1 引言

5.2 条纹漂移误差抑制总体方案设计思路

5.3 测量误差优化抑制方案

5.4 元件高频振动优化抑制方案

5.5 优化实验验证

5.6 本章小结

第六章 全文总结与展望

6.1 全文总结

6.2 后续工作展望

致谢

参考文献