声明
第一章 绪论
1.1 选题背景及意义
1.2 仿真分析的目的和意义
1.3 研究内容综述
1.3.1 整机装调误差分析方法综述
1.3.2 环境扰动引起的相位漂移误差综述
1.3.3 干涉条纹相位锁定控制方法综述
1.3.4 相位测量干涉仪仿真方法综述
1.4 主要研究内容和章节结构
第二章 扫描干涉光刻原理与误差分析
2.1 引言
2.2 扫描干涉光刻系统基本原理
2.3 基于外差移相锁定的扫描干涉光刻原理方案
2.3.1 外差干涉测量原理
2.3.2 移频式相位调节原理
2.3.3 相位测量干涉仪方案
2.4 整机集成装调误差
2.5 扫描干涉光刻相位漂移误差分析
2.5.1 空气折射率波动引起的相位漂移误差
2.5.2 光学元件振动引起的相位漂移误差
2.6 本章小结
第三章 整机集成装调误差ZEMAX仿真分析及实验
3.1 引言
3.2 整机集成装调误差ZEMAX仿真分析
3.2.1 整机装调目标
3.2.2 整机光学系统ZEMAX仿真模型
3.2.3 整机装调误差仿真分析
3.3 整机集成装调方法及实验
3.3.1 整机集成装调方法
3.3.2 装调实验
3.4 本章小结
第四章 空气扰动及光学元件振动误差的ZEMAX仿真分析
4.1 引言
4.2 相位测量干涉仪仿真模型
4.3 空气折射率仿真分析
4.4 光学器件振动仿真分析
4.5 本章小结
第五章 条纹锁定控制实验及其基于ZEMAX的虚拟样机搭建
5.1 引言
5.2.1 控制硬件与软件
5.2.2 模型辨识及控制器设计
5.2.3 条纹锁定控制实验
5.3.1 基于ZEMAX的控制系统虚拟样机仿真原理
5.3.2 基于ZEMAX的控制系统虚拟样机的搭建
5.4 本章小结
第六章 结论与展望
6.1 主要结论
6.2 后续研究展望
致谢
参考文献
