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一种基于ZEMAX仿真的外差式光栅干涉仪读头系统信号分析方法

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摘要

本发明公开了一种基于ZEMAX仿真的外差式光栅干涉仪读头系统信号分析方法，用于分析光学系统中经过光学元件后探测器接收到的测量信号，在ZEMAX中需对各个光学元件建立仿真模型，根据光栅干涉仪位移测量的原理，在ZEMAX非序列模式下进行光栅干涉仪读头结构设计、光学元件选择，搭建光栅干涉仪测量系统仿真模型进行信号分析。根据光路的需求以及不同光学元件的特性，分别设置相应参数，得到光学元件参数对光学系统能量的影响。利用仿真结果对光学系统进行系统优化。

著录项

  • 公开/公告号CN113865480A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-12-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 桂林电子科技大学;

    申请/专利号CN202111127812.9

  • 发明设计人 熊显名;康森;杜浩;张文涛;曾启林;张玉婷;杨松;

    申请日2021-09-18

  • 分类号G01B9/02(20060101);G01B11/02(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 541004 广西壮族自治区桂林市桂林金鸡路1号

  • 入库时间 2023-06-19 13:29:16

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-05-23

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B 9/02 专利申请号:2021111278129 申请公布日:20211231

    发明专利申请公布后的视为撤回

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