基于97单元MEMS变形镜的自适应光学系统SPGD算法实现

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变量注释表

1 绪论

1.1 自适应光学系统原理

1.2 自适应光学系统的发展及应用

1.3 变形镜种类及应用

1.3.1 分离促动器连续表面变形镜

1.3.2 薄膜变形镜

1.3.3 拼接镜子变形镜

1.3.4 基于液晶技术的空间光调制器

1.3.5 微电子机械系统（MEMS）变形镜

1.4 课题研究背景及研究意义

1.5 论文内容及安排

2 97单元MEMS变形镜波前像差拟合能力分析

2.1 97单元MEMS变形镜建模

2.2 Zernike 多项式模拟波前像差

2.2.1 Zernike多项式的生成

2.2.2 变形镜拟合能力分析步骤

2.3 变形镜对Zernike 多项式单阶像差的拟合能力分析

2.4 变形镜对Zernike多项式组合像差的拟合能力分析

2.5 97 单元 MEMS 变形镜在闭环系统中的校正能力分析

2.6 97单元MEMS变形镜拟合能力总结

3 无波前探测AO系统以及实验平台搭建

3.1 无波前探测AO系统结构及流程图

3.2 无波前探测AO系统光路设计及光学器件的选择

3.2.1 光源

3.2.2 空间滤波器

3.2.3 97单元电磁驱动MEMS变形镜

3.2.4 CCD相机

3.2.5 测量变形镜影响函数光路设计

3.3 光路调节标准及步骤

（1）定轴

（2）调节光源

（3）调节变形镜

（4）调节分光棱镜PBS1

（5）调节空间滤波器

（6）调节针孔与物镜之间的距离

（7）调节准直透镜

（8）调节CCD相机

（9）调节衰减片及偏振片

3.4 变形镜实际影响函数测量

3.4.1 夏克哈特曼传感器

3.4.2 97单元电磁驱动MEMS变形镜实际影响函数

4 AO系统实验平台像差校正结果及分析

4.1 内部静态像差校正结果及分析

4.1.1 软件平台搭建

4.1.2 SPGD控制算法实现过程

4.1.3 系统内部静态像差校正结果分析

4.2 系统施加不同像差时实验结果分析

4.2.1 SLM光路设计及实验平台搭建

4.2.2 SLM简介

4.3 湍流强度 D/r0=5 时算法最优参数

4.3.1 像差D/r0=5时同步长不同扰动幅度下实验结果分析

4.3.2 像差D/r0=5时同扰动不同步长下实验结果分析

4.4 加不同湍流强度像差时校正效果分析

4.5 小结

5 总结与展望

5.1 论文的主要内容和结论

5.1.1 论文主要研究内容

5.1.2 结论

5.2 论文的创新工作

5.3 展望

参考文献

作者简历

学位论文原创性声明

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