MEMS微变形镜单元间耦合的优化控制研究

刘勇; 许晓慧; 李保庆; 张晋弘; 褚家如

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通过计算MEMS微变形镜校正畸变波面后的残余误差,研究不同单元间耦合情况对变形镜校正效果的影响.针对连续镜面MEMS微变形镜单个致动器单元工作时,相邻及以外的单元都会有一个变形量,用耦合系数来表征单元工作时对相邻单元变形量的影响程度.以单元间距为3 mm的10×10单元阵列MEMS微变形镜为例,研究了变形镜校正不同畸变波面时,最佳耦合系数与波面畸变因素对应关系.当校正对象为前20阶Zernike多项式波面,此变形镜的最佳耦合系数为10%.分析了单元间距分别为2,2.5,3,3.5,4 mm时,10×10单元阵列MEMS微变形镜校正效果的变化情况;不同单元间距对应的最佳耦合系数分别为12%,11%,10%,9%,8%.

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来源
《中国科学技术大学学报》 |2010年第4期|395-399|共5页
作者
刘勇; 许晓慧; 李保庆; 张晋弘; 褚家如;
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作者单位

中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥,230027;

中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥,230027;

中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥,230027;

中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥,230027;

中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥,230027;

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正文语种 chi
中图分类应用光学;
关键词
MEMS; 变形镜; 影响函数; 耦合系数;

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