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自适应光学系统MEMS微变形镜的研究

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摘要

指出了传统变形镜研究所面临的瓶颈,以及采用MEMS技术研究微变形镜的优点.介绍了利用静电力驱的平板电容式分立式微变形镜.分析结果表明它具有比传统变形镜更优越的性能.指出了进一步研究与发展MEMS微变形镜还需要解决的若干重要问题.

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来源
《纳米技术与精密工程（英文）》 |2004年第4期|288-293|共6页
作者
饶伏波; 乔大勇; 苑伟政;
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作者单位

西北工业大学微/纳米系统实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学;
关键词
MEMS技术; 自适应光学系统; 驱动; 分立式; 电容式; 优点; 性能; 瓶颈; 研究所;

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