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基于MEMS技术的分立式微变形镜校正能力研究

         

摘要

针对基于微型机电系统技术的分立式微变形镜,从镜面面形特点出发分析了方形和蜂窝形阵列变形镜适配能力,并利用ZEMAX软件建立畸变波前和变形镜模型,仿真分析两种分立式微变形镜的校正能力。研究表明在近似子单元数情况下,蜂窝形阵列微变形镜对畸变波前的校正能力更好。

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