MWECR CVD高速沉积a-Si:H薄膜及热退火微观机理研究

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英文文摘

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第1章绪论

1.1研究背景

1.1.1当前能源形势

1.1.2 a-Si：H薄膜太阳能电池

1.1.3 a-Si：H薄膜太阳能电池的发展方向和应用前景

1.2 a-Si：H薄膜的研究历史以及发展现状

1.2.1 a-Si：H薄膜的研究历史

1.2.2 a-Si：H薄膜的发展现状

1.3 a-Si：H薄膜的结构特点

1.3.1 a-Si：H的结构特点

1.3.2 a-Si：H薄膜材料应用于光电器件方面具有的独特性能

1.4 a-Si：H薄膜的光电特性

1.4.1 a-Si：H薄膜的能带模型

1.4.2 a-Si：H薄膜的电学性质

1.4.3 a-Si：H薄膜的光学性质

1.5本论文的来源及主要内容

第2章样品的制备及性能测试

2.1实验材料的准备

2.1.1使用的衬底

2.1.2基片材料的清洗

2.1.3实验气体

2.1.4钨丝

2.2 MWECR CVD沉积系统

2.2.1 MW ECR的原理

2.2.2系统基本组成

2.2.3 a-Si：H薄膜的生长机制

2.3关于a-Si：H的一些测试手段

2.3.1 FTIR红外吸收谱

2.3.2 Raman散射谱

2.3.3紫外—可见投射和反射光谱及光学带隙计算

2.3.4 X-ray衍射谱

2.3.5直流电导测量

2.3.6薄膜厚度测试

2.4本章小结

第3章热丝辅助MWECR CVD制备a-Si：H薄膜

3.1实验设备的改进

3.2实验

3.3工艺参数的优化分析

33.1衬底温度与a-Si：H薄膜

3.3.2等离子体引发的温度与a-Si：H薄膜

3.3.3气体流量与a-Si：H薄膜

3.3.4改变混合气体的稀释率

3.3.5在沉积过程中补加退火过程

3.4本章小结

第4章a-Si：H的光衰退与热退火的微观解释

4.1 H在a-Si：H中的键合形式及其能量

4.1.1 H在a-Si：H中的各种键合形式

4.1.2 H在a-Si：H中不同位置的能量

4.2光致衰退及其模型

4.2.1 SW效应

4.2.2 SW效应的微观模型解释

4.3 H扩散在热退火中的作用

4.3.1光诱导热退火实验

4.3.2 H的扩散

4.3.3 BC H原子

4.4本章小结

结论

参考文献

攻读硕士学位期间发表的学术论文

致谢