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Design and analysis of series and shunt MEMS switches.

机译：串联和并联MEMS开关的设计和分析。

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摘要

This thesis presents series and shunt RF Micro-Electro-Mechanical (MEMS) switches and varactors, emphasizing the electromagnetic modeling and design as well as mechanical modeling. Comprehensive modeling and design are verified by extensive fabrication and testing of both series and shunt MEMS devices. These devices were implemented into high-isolation (−60 to −40 dB from 2 to 40 GHz) switch circuits. Also, a detailed electro-mechanical 1-dimensional dynamic simulation has been done for MEMS switches and varactors. It is also the author's goal to establish general performance parameters and limitations of MEMS devices.
机译：本文介绍了串联和并联射频微机电开关和变容二极管，着重介绍了电磁建模与设计以及机械建模。全面的建模和设计通过串联和并联MEMS器件的大量制造和测试得到验证。这些设备被实现为高隔离度（2至40 GHz，−60至−40 dB）。此外，已经针对MEMS开关和变容二极管进行了详细的机电一维动态仿真。建立通用性能参数和MEMS器件的局限性也是作者的目标。

著录项

  • 作者

    Muldavin, Jeremy Bert.;

  • 作者单位

    University of Michigan.;

  • 授予单位 University of Michigan.;
  • 学科 Engineering Electronics and Electrical.
  • 学位 Ph.D.
  • 年度 2001
  • 页码 184 p.
  • 总页数 184
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 无线电电子学、电信技术;
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