Case Western Reserve University;
机译:MEMS操作过程中多晶3C-碳化硅薄膜的阳极氧化
机译:通过掺杂来控制(111)多晶3C-SiC薄膜的晶粒尺寸,以用作折束MEMS谐振器以实现能量耗散
机译:通过掺杂来控制(111)多晶3C-SiC薄膜的晶粒尺寸,以用作折束MEMS谐振器以实现能量耗散
机译:由单晶和多晶3C-SiC膜制成的折叠梁MEMS谐振器中的能量耗散
机译:飞秒脉冲激光烧蚀和硅衬底上用于MEMS制造的3C碳化硅膜的图案化。
机译:银等离子体谐振器上单层和多层量子点薄膜中的激子复合能量和电荷转移
机译:通过维克斯凹陷评估单晶和多晶硅碳化物的机械特性。