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机译:用于制造纳米结构器件的离子束光刻
森脇, 和幸;
大阪大学;
机译:使用离子束和反应离子束沉积工艺在它们之间获得具有纳米层厚度和锐切割界面的结构的可能性研究
机译:硅中深度激光光刻制造的片式微结构和光子器件
机译:制备复杂的聚合物微结构和纳米结构:微流体装置中的光刻
机译:通过硅的全息曝光和离子束蚀刻制造的多种高周精度光栅
机译:使用软光刻技术来制造纳米级结构。
机译:硅内部深处的非线性激光光刻制造的芯片内微结构和光子器件
机译:片内微结构和非线性制造的光子器件 激光光刻深入硅内部
机译:通过薄层阻挡层进行离子束注入,在硅上直接对纳米级硅化物结构进行构图
机译:使用光压印光刻技术制造双镶嵌结构的方法,用于双金属镶嵌结构的压印光刻模具的制造方法,用于压印电介质的材料以及用于双金属镶嵌图案化的光压印光刻设备
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