Novel Pad Conditioning and Slurry Dispense Methods in Chemical Mechanical Planarization

著录项

• 作者

  Stuffle, Calliandra.;

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• 作者单位

  The University of Arizona.;

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• 授予单位 The University of Arizona.;
• 学科
• 学位 M.S.
• 年度 2018
• 页码 77 p.
• 总页数 77
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 AAI10787859;
• 关键词

  Chemical mechanical planarization; Cobalt; Confocal microscopy; Diamond disc; Silicon dioxide; Slurry;

  机译：化学机械平面化;钴;共聚焦显微镜;钻石盘;二氧化硅;泥浆;