超大规模集成电路多层铜布线化学机械全局平面化抛光液

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cqvip:一种超大规模集成电路多层铜布线用化学机械全局平面化抛光液，其组成成分是：（质量分数）磨料18%-50%，螯合剂0．1％～10％，络合剂0．005％～25％，活性剂0．1％～10％，氧化剂l％～20％，余量为去离子水。该抛光液损伤小、平整度高、易清洗；不腐蚀设备，不污染环境；选择性强，速率高；价格便宜，成本低，用于超大规模集成电路多层铜布线化学机械全局平面化抛光。

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来源
《电镀与涂饰》 |2005年第1期|P.85|共1页
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正文语种 chi
中图分类 TQ171.739;
关键词
全局平面化; 铜布线; 超大规模集成电路; 抛光液; 多层; 速率; 络合剂; 易清洗; 去离子水; 质量分数;

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