首页> 中文期刊>河北工业大学学报 >“超大规模集成电路多层铜布线用化学机械全局平面化抛光液”项目荣获专利金奖

“超大规模集成电路多层铜布线用化学机械全局平面化抛光液”项目荣获专利金奖

     

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号