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一种制备金刚石微米棒阵列膜的方法，它涉及一种制备金刚石微米棒阵列膜的方法。本发明的目的是要解决目前金刚石微米棒阵列膜制备工艺复杂，制备成本较高，不能精确控制孔洞长径比的问题，本发明步骤为：硅片模板的制备、涂覆金刚石悬浮液、放置样品、金刚石微米棒阵列膜的生长、硅片模板的剥离，即完成。

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《磨料磨具通讯》 |2017年第3期|P.34-35|共2页
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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类人造超硬度材料的生产;
关键词
专利信息; 制备工艺; 金刚石; 微米棒; 精确控制; 阵列; 长径比; 悬浮液;

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