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本发明涉及一种硅片切割废液中碳化硅粉体回收提纯方法．是一种硅片切割废液资源化回收利用。本发明包括：向硅片切割废液中加入稀释剂搅拌，以达到降低黏度和去除铁屑的目的；将反应后的悬浮液进行固液分离；

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来源
《磨料磨具通讯》 |2014年第1期|P.36-37|共2页
作者

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作者单位

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类固体废物的处理与利用;
关键词
专利信息; 回收利用; 碳化硅粉体; 提纯方法; 固液分离; 资源化; 废液; 切割;

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