纳米结构制备技术

卢刚; 陈治明; 王建农; 葛惟昆

首页> 中文期刊> 《电子学报》 >纳米结构制备技术

纳米结构制备技术

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

随着纳米加工技术的发展,纳米结构器件必将成为将来的集成电路的基础.本文介绍了几种用电子束光刻、反应离子刻蚀方法制备硅量子线、量子点和用电子束光刻、电子束蒸发以及剥离技术制备纳米金属栅的工艺方法;用这种工艺方法在P型SIMOX硅片上成功制造的一种单电子晶体管,在其电流电压-特性上观测到明显的库仑阻塞效应和单电子隧穿效应.

著录项

来源
《电子学报》 |2003年第2期|301-302|共2页
作者
卢刚; 陈治明; 王建农; 葛惟昆;
展开▼
作者单位

西安理工大学电子工程系,陕西西安,710048;

西安理工大学电子工程系,陕西西安,710048;

香港科技大学物理系,香港九龙清水湾;

香港科技大学物理系,香港九龙清水湾;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体三极管（晶体管）;
关键词
纳米结构; 单电子晶体管; 库仑阻塞; 单电子隧穿;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Ag@Parylene-C纳米结构制备技术研究及其SERS性能表征 [J] . 刘博 . 四川兵工学报 . 2019,第006期
2. 对纳米结构金属材料的塑性变形制备技术分析 [J] . 王婷翌 . 中国金属通报 . 2019,第011期
3. 聚对苯撑苯并二噁唑原纤化纳米纤维制备技术及结构性能 [J] . 曹雪鸿 ,王宜 ,耿浩 . 高分子材料科学与工程 . 2017,第7期
4. 微纳米银花状球结构的化学制备技术现状与展望 [J] . 孟宪伟 ,杨宏伟 ,郭帅龙 . 贵金属 . 2016,第0z1期
5. 纳米流体制备技术与组成结构的研究进展 [J] . 姚远 ,陈颖 ,陆振能 . 流体机械 . 2016,第011期
6. 金属纳米颗粒修饰石墨烯复合结构及其制备技术研究进展 [C] . 王中驰 ,傅强 ,潘春旭 . 第七届中西部地区理化检验学术年会暨实验室主任经验交流会 . 2018
7. 基于激光扫描的纳米陶瓷涂层及纳米结构块体制备技术的基础研究 [A] . 花国然 . 2003

纳米结构制备技术

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅