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三维寄生电容边界元计算的半解析积分方法

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摘要

在VLSI三维多介质互连寄生电容的边界元法计算中,利用互连结构特点,本文提出一种半解析积分方法,它应用原函数方法将二维面积分转化为一维线积分,再用一维高斯积分求出积分值.与二维高斯积分相比,速度更快、精度更高,并改善了解的精度.

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来源
《电子学报》 |2000年第5期|127-129|共3页
作者
古江春; 王泽毅; 洪先龙;
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作者单位

清华大学计算机科学与技术系,北京,100084;

清华大学计算机科学与技术系,北京,100084;

清华大学计算机科学与技术系,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类互连及多层布线技术;
关键词
VLSI; 寄生电容; 边界元素法; 半解析积分;

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