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一种基于DVD读取头的非接触触发探头

         

摘要

提出了一种基于DVD读取头原理的非接触光学聚焦探头,该探头由商用DVD读取头改装而成,已经完成其设计与制作.实验结果表明探头分辨率优于2 nm,测量重复性可达20 nm,目前已应用于纳米三坐标测量机上.

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