计量型原子力显微镜

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• 来源
  《计量学报》 |1998年第1期|1-8|共8页
• 作者

  Bieni.M; 赵克功;

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• 作者单位

  德国联邦物理技术研究院,柏林;

  德国联邦物理技术研究院,柏林;

  德国联邦物理技术研究院,柏林;

  德国联邦物理技术研究院,柏林;

  中国计量科学研究院,北京,100013;

  中国计量科学研究院,北京,100013;

  中国计量科学研究院,北京,100013;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 光学仪器;
• 关键词

  计量型原子力显微镜; 微型光纤传导激光干涉测量系统; 误差合成数学模型;