AFM设定值对测量准确度和探针寿命的影响

唐莹; 曹丛; 张健; 赵东升

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AFM设定值对测量准确度和探针寿命的影响

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研究了不同模式下设定值对AFM成像质量、测量准确度、样品及探针磨损情况的影响.结果表明,接触模式下弯曲量设定越大,探针与样品相互作用力越大,噪声减小,成像质量提高,但是会对样品和探针造成较大磨损,降低测试测量准确度,一般表面起伏较大的硬样品适合此模式;轻敲模式下进针会有一个振幅设定,由此值开始,随着振幅设定减小,测量准确度和探针磨损程度先增加后减小,噪声和磨损均不大,适合于表面比较平滑的非粘性样品;智能模式下参数可自动调节,且对样品和探针的磨损较小,但是受噪音影响较大,测量数据较小时准确度偏低.

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来源
《计量学报》 |2019年第z1期|17-22|共6页
作者
唐莹; 曹丛; 张健; 赵东升;
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作者单位

山东省计量科学研究院;

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山东省计量科学研究院;

山东省计量科学研究院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类长度计量;
关键词
计量学; 原子力显微镜; 扫描模式; 设定值; 探针磨损;

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