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激光测振仪用于微梁和AFM探针振动测量

         

摘要

激光光纤测振仪将直径小于200μm的激光光斑会聚于Si微悬臂梁和AFM探针上,分别由静电场和PZT进行激振,实现了激光微结构振动特性非接触测量,并给出了测量结果。

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