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TES用超导薄膜制备及特性研究

         

摘要

超导转变边沿传感器(TES)是光强单位坎[德拉]量子化所需的单光子探测器,金属超导薄膜物理特性的研究是TES研究的基础.采用不同电源功率磁控溅射制备高纯Al、Ti超导纳米薄膜,分析其薄膜生长速率随气压和功率的变化.利用表面应力仪及电学测量仪,分析薄膜表面应力及电学特征.最后将薄膜放入商用稀释制冷机中,进行超低温测试,获得其超导特性.研究发现超导转变温度Tc以及转变沿宽度△T是影响TES能量分辨率以及时间常数的重要参数.实验结果将为TES器件的制备奠定基础.

著录项

  • 来源
    《计量学报》 |2021年第2期|184-188|共5页
  • 作者单位

    北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院 北京100192;

    北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院 北京100192;

    北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院 北京100192;

    中国计量科学研究院 北京100029;

    中国计量科学研究院 北京100029;

    中国计量科学研究院 北京100029;

    中国计量科学研究院 北京100029;

    中国计量科学研究院 北京100029;

    中国计量科学研究院 北京100029;

    北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院 北京100192;

    上海科技大学 上海201210;

    中国计量科学研究院 北京100029;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 光学计量;
  • 关键词

    计量学; 超导薄膜; TES; 单光子探测器;

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